作者：闫军锋主编
出版社： 西安电子科技大学出版社
CIP号：2016041019
书号：978-7-5606-4044-0
出版地：西安
出版时间：2016.3
定价：￥25
本书内容包括半导体材料与器件的制备、测试、分析等43个实验，分为半导体材料与器件的制备技术、半导体材料电子显微分析技术、半导体材料基本物理性能参数测试、半导体器件性能测试四个模块，各模块均包含验证性实验、综合性实验和设计性实验三个类型。