作者：张永宏主编
出版社： 西北工业大学出版社
CIP号：2016199040
书号：978-7-5612-5003-7
出版地：西安
出版时间：2016.8
定价：￥35
本书由薄膜制备技术、薄膜检测技术和典型薄膜材料及其应用3部分构成，系统介绍了现代薄膜技术中涉及到的真空的获得和测量方法、薄膜制备技术中重要的物理和化学方法、薄膜材料常用的结构分析和性能测试方法，全面阐述了典型薄膜材料的制备、结构、性能和应用。本书可作为普通高等工科院校的材料及相关专业的薄膜材料与技术课程的教学用书，也可供从事薄膜材料生产和开发的工程技术人员参考。