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三维结构MOS晶体管技术研究
作者
张盛东
出版社
出版时间
2005-09-01
特色:
本书汇集了作者在三维结构MOS晶体管技术研究方面所取得的主要研究成果。内容涉及背栅、平面双栅、可分离双栅MOS以及三维集成MOS器件。
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