作者：
出版社： 哈尔滨工业大学出版社
CIP号：2015306527
书号：978-7-5603-5791-1
出版地：哈尔滨
出版时间：2016.3
定价：￥38.0
本书分别对氧化钽薄膜沉积工艺、后处理、添加层等对薄膜性能的影响进行研究；探索双离子束溅射法制备氧化钽薄膜，并重点研究了后处理工艺对于抗激光损伤性能的影响；构建了原位高温激光损伤阈值测试，研究了较为前沿的温度对于激光损伤的影响；开发了一种采用新型前驱体制备高激光损伤阈值氧化钽薄膜的溶胶凝胶技术。