作者：张国军著
出版社： 科学出版社
CIP号：2017111934
书号：978-7-03-052867-4
出版地：北京
出版时间：2017.6
定价：￥49
本书系统地论述了MEMS矢量水听器的工作原理、结构设计、器件加工、系统集成及测试等内容，并对MEMS矢量水听器的应用前景进行了简要阐释。本书系统地论述了MEMS矢量水听器的工作原理、结构设计、器件加工、系统集成及测试等内容，并对MEMS矢量水听器的应用前景进行了简要阐释。本书系统地论述了MEMS矢量水听器的工作原理、结构设计、器件加工、系统集成及测试等内容，并对MEMS矢量水听器的应用前景进行了简要阐释。