作者：
出版社： 机械工业出版社
CIP号：2018023236
书号：978-7-111-59127-6
出版地：北京
出版时间：2018.3
定价：￥69
本书介绍了MEMS（微机电系统）向NEMS（纳机电系统）的演变、NEMS的相关理论和技术以及相关的前沿研究。书中内容主要讨论了NEMS的机电特性、尺度效应带给NEMS的有趣性能以及目前的制造工艺，为该领域目前和未来的研究提供了清晰的叙述。