作者：
出版社： 电子工业出版社
CIP号：2019242978
书号：978-7-121-37664-1
出版地：北京
出版时间：2020.1
定价：￥239.0
在现代微电子装备制造中，产品在生产和使用的全过程中的缺陷和故障，将人们解决问题的技术视野引入了一个完全陌生的境界。本书从现代微电子装备生产、使用中所发生的大大小小的数百个缺陷和故障中，筛选出201个较典型的案例，按照现象描述与分析、形成原因与机理、解决措施等层次，将其编辑成册，旨在为现代微电子装备生产、使用中所发生的缺陷和故障的诊断提供一个较为敏捷的解决方法。