离子束沉积薄膜技术及应用

作者刘金声
出版社
出版时间2003-01-01

特色:

本书系统介绍了IBD薄膜技术的原理,方法及应用,重点介绍了技术基础、制备方法和应用,以期提供可直接引用的方法、数据及成果。

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