作者：
出版社： 机械工业出版社
CIP号：2019185175
书号：978-7-111-63514-7
出版地：北京
出版时间：2019.11
定价：￥85.0
本书主要以微电子元器件中的多层陶瓷电容器和互连结构为研究对象，分析了国内外该方向研究的现状和发展趋势，介绍了该类微电子元器件在微型化过程中所面临的技术挑战。主要介绍了多层陶瓷电容器和互连结构在微型化过程中的尺度效应和失效方法，能够为微电子元器件的研究开发人员和学习人员提供帮助和指导。